포토리소그래피1 기술노드, ArF와 EUV 기존 대비 절반 수준으로 줄어드는 소자 미세화 규칙을 정했고, 이런 규칙을 적용하면서 다음 세대의 이름을 정하게 되는데 이것을 기술 노드라고 부릅니다. 기술 노드 반도체 산업은 소자 미세화라는 목표를 설정하고 공동의 노력을 하는 산업입니다. 이런 상황에서 소자 미세화라는 것에 대해 모든 산업의 사람들이 이해할 수 있도록 일반적인 소자 미세화의 규칙을 정했습니다. 이렇게 정해진 규칙은 이전 세대 크기 대비 0.7을 곱한 길이로 모든 크기를 줄이는 것입니다. 예를 들어보면 트랜지스터 채널의 길이와 폭이 1㎛ x 1㎛였다면, 다음 세대의 트랜지스터 채널이 길이와 폭은 0.7㎛ x 0.7㎛로 줄이는 것입니다. 왜 이전 세대 크기 대비 0.7을 곱한 것일까요? 바로 0.7씩 줄이게 되면 0.7 x 0.7 = 0... 2023. 5. 16. 이전 1 다음
