CVD3 반도체 8대공정 요약 정리 반도체는 깨끗한 기판에 설계된 패턴을 그린 뒤 깎고, 쌓고를 반복하면서 회로를 형성합니다. 패턴을 그리고 깎고 쌓는 과정을 8대 공정에서 진행하는 것입니다. 반도체 8대 공정, 공정별 한 줄 정리 반도체 8대 공정을 공정별로 한줄 정리해 보겠습니다. 1. Photo : 설계된 회로 패턴을 Wafer에 그려 넣는 공정 2. Etch : 그려 넣은 회로에서 필요 없는 부분을 제거하는 공정 3. Diffusion : Wafer에 높은 온도로 불순물을 이동/확산시키는 공정 4. Ion implant : 소자가 원하는 특성을 가지도록 고전압으로 불순물을 주입하는 공정 5. CVD : 화학반응을 통해 Oxide나 Poly, Nitride를 증착시키는 공정 6. Metal : 화학반응을 통해 W이나 Cu 등을 증착시.. 2023. 7. 2. 반도체 8대공정 중 Metal 공정이란? METAL 이란? 반도체 8대 공정 중 METAL 공정에 대해 알아보겠습니다. METAL이란 물질은 전기를 잘 흘려주는 성질이 있기 때문에 전기를 잘 흘려주기 위한 장치에는 모두 METAL을 사용합니다. 가령 전선의 경우를 예를 들어보면 피복 안에 구리 선이 있고 구리라고 하는 금속이 전기를 흘려주는 역할을 하는 것처럼 반도체에서도 이러한 구리 선의 역할을 하는 것을 Metal Line이라고 하며 이를 Metal 공정에서 만들어 줍니다. Metal Line은 Chip 외부에서 흘러들어오는 전기적 신호를 chip 내부의 각 소자로 전달시켜주기도 하고, 반대로 chip 내부의 전기적 신호를 외부로 전달해 주는 전달자 역할을 합니다. Metal 공정의 재료 반도체용 금속 재료로 사용하기 위해서는 여러 가지 조.. 2023. 6. 2. 반도체 8대공정 중 CVD 공정 (산화공정) 이란? 반도체 8대 공정 중 CVD 공정 (산화공정) 이란?반도체 8대 공정 중 CVD에 대해 알아보겠습니다. 반도체 제조공정은 박막> PHOTO> ETCH> 세정> 박막의 순서를 되풀이합니다. 여기서 박막이란 반도체가 원하는 전기적 특성을 갖출 수 있도록 Wafer 위에 성장시킨 여러 가지 물질을 말하며 영어로는 Thin film이라고 합니다. Cell 내에 각각의 요소들이 해야 하는 역할이 다르기 때문에 각 구성 요소들을 여러 가지 화학물질을 사용해서 각자 역할을 할 수 있도록 물리적 특성을 결정해 주어야 하는데, Wafer위에 이러한 물질을 만드는 것이 바로 박막이라고 합니다. 이러한 박막을 Wafer에 균일하게 성장시키는 기술은 박막 성장 기술이라고 부릅니다. 박막(Thin film)이라고 부르는 이유는.. 2023. 5. 20. 이전 1 다음
