LPCVD1 반도체 8대공정 중 CVD 공정 (산화공정) 이란? 반도체 8대 공정 중 CVD 공정 (산화공정) 이란?반도체 8대 공정 중 CVD에 대해 알아보겠습니다. 반도체 제조공정은 박막> PHOTO> ETCH> 세정> 박막의 순서를 되풀이합니다. 여기서 박막이란 반도체가 원하는 전기적 특성을 갖출 수 있도록 Wafer 위에 성장시킨 여러 가지 물질을 말하며 영어로는 Thin film이라고 합니다. Cell 내에 각각의 요소들이 해야 하는 역할이 다르기 때문에 각 구성 요소들을 여러 가지 화학물질을 사용해서 각자 역할을 할 수 있도록 물리적 특성을 결정해 주어야 하는데, Wafer위에 이러한 물질을 만드는 것이 바로 박막이라고 합니다. 이러한 박막을 Wafer에 균일하게 성장시키는 기술은 박막 성장 기술이라고 부릅니다. 박막(Thin film)이라고 부르는 이유는.. 2023. 5. 20. 이전 1 다음
