산화1 반도체 8대공정 중 Diffusion 공정이란? Diffusion 이란? 반도체 8대 공정 중 Diffusion, 즉 확산이란 어떤 입자의 농도 차로 인하여 그 입자가 퍼지는 것을 말합니다. 예를 들면 그릇에 담겨있는 물에 잉크 방울을 떨어뜨린 경우를 생각할 수 있는데, 일단 잉크가 물 위에 떨어지면 잉크의 농도가 진한 데서 옅은 데로 번져 가는 것을 경험하였을 것입니다. 시간이 지남에 따라 잉크는 점점 퍼지게 되어 어느덧 그릇에 담겨 있는 물 전체가 옅은 잉크색을 띠게 되는 것이 확산현상입니다. 이는 방안에서 담배를 피우는 경우 멀리 떨어져 있는 사람에게도 담배 연기가 퍼지게 되는데 이런 것들이 확산의 예라 할 수 있습니다. 반도체 공정에서의 확산도 위의 예와 같이 물질에 어떤 입자를 주입하여 퍼지게 하는 것입니다. 확산공정에서는 기판인 실리콘에다 .. 2023. 6. 19. 이전 1 다음
